Een scannende elektronenmicroscoop bestraalt een vooraf gekozen gebied van het verfmonster met een zeer smalle bundel van energierijke elektronen. Het monster weerkaatst een deel van de elektronen. Daarmee kan het oppervlak van het monster op een scherm in beeld worden gebracht. Bijvoorbeeld in de vorm van een zogenaamd BEI, een ‘Backscattered Electron Image’ (letterlijk: ‘afbeelding van teruggekaatste elektronen’). Een ander deel van de elektronen verliest energie door de wissel-werking met de atomen in het verfmonster, waarbij onder meer röntgenstraling wordt opgewekt. Elk scheikundig element reageert op de elektronen met een andere hoeveelheid van deze röntgenstraling. Vastgelegd in een ‘spectrum’ kan uit de pieken röntgenstraling worden opgemaakt welke elementen in het monster aanwezig zijn.

Deze techniek wordt afgekort als SEM-EDX, een afkorting voor Scanning Electron Microscopy – Energy Dispersive analysis of X-radiation.